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道里米拉普罗复合真空计 Tough Gauge1套
米拉普罗复合真空计 Tough Gauge1套复合真空计 Tough Gauge 是一种复合真空计，结合了 BA 电离真空计和皮拉尼真空计。使用这个单一装置，您可以在从大气到超高真空的宽范围内自动切换的同时进行测量。皮拉尼真空计内置温度计，用于温度补偿，减少因温度变化而产生的误差。此外，皮拉尼真空计采用耐腐蚀材料，在高真空下，BA电离真空计在艰难模式下工作，同时加热栅极和收集器，可以进行测量。真空沉积设备、蚀刻设备、溅射设备、电子显微镜、离子注入设备、LPCVD设备、质谱仪、加速器、有机EL材料精炼材料：皮拉尼：Ni、皮拉尼温度计：Pt100、BA 灯丝：Y-lr、栅极：Pt -Mo，收集器：Pt-Mo 接口 RS232C，显示器 (TGD100)，可连接到 PC 输入信号测量启动/停止、脱气、tough 模式 ON/OFF 输出信号设定点触点 x 2ch、报警触点 输入电源 (V ) DC24， 0.8A 测量范围 1 x 10-8Pa 至 1.2 x 105Pa 规格 [压力单位] Pa/Torr/mbar, [Tough 模式] 栅极和集电极在测量过程中通电并加热 ・OFF/约 300℃/约 500℃ / 可设定约 700°C，[脱气] 栅极和收集器快速加热至约 900°C，[压力信号输出] 0-10V x 1ch 型发射器类型（带 LED 显示）
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此文关键字：道里复合真空计 Tough Gauge米拉普罗
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